با ادامه همه گیری COVID-19 و افزایش تقاضا برای تراشه ها در بخش هایی از تجهیزات ارتباطی گرفته تا لوازم الکترونیکی مصرفی تا خودرو، کمبود جهانی تراشه ها تشدید می شود.
تراشه یک بخش اساسی مهم در صنعت فناوری اطلاعات است، اما همچنین یک صنعت کلیدی است که کل حوزه فناوری پیشرفته را تحت تأثیر قرار می دهد.
ساخت یک تراشه یک فرآیند پیچیده است که شامل هزاران مرحله است و هر مرحله از این فرآیند مملو از مشکلات است، از جمله دماهای شدید، قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی بسیار تهاجمی، و الزامات تمیزی شدید. پلاستیک ها نقش مهمی در فرآیند تولید نیمه هادی ایفا می کنند، پلاستیک های ضد الکتریسیته ساکن، PP، ABS، PC، PPS، مواد فلوئور، PEEK و سایر پلاستیک ها به طور گسترده در فرآیند تولید نیمه هادی استفاده می شوند. امروز نگاهی به برخی از کاربردهای PEEK در نیمه هادی ها خواهیم انداخت.
سنگ زنی مکانیکی شیمیایی (CMP) مرحله مهمی از فرآیند تولید نیمه هادی است که نیاز به کنترل دقیق فرآیند، تنظیم دقیق شکل سطح و سطح با کیفیت بالا دارد. روند توسعه کوچک سازی بیشتر الزامات بالاتری را برای عملکرد فرآیند مطرح می کند، بنابراین الزامات عملکرد حلقه ثابت CMP بیشتر و بالاتر می شود.
حلقه CMP برای نگه داشتن ویفر در محل در طول فرآیند آسیاب استفاده می شود. ماده انتخاب شده باید از خراشیدگی و آلودگی روی سطح ویفر جلوگیری کند. معمولاً از PPS استاندارد ساخته می شود.
PEEK دارای ثبات ابعادی بالا، سهولت پردازش، خواص مکانیکی خوب، مقاومت شیمیایی و مقاومت در برابر سایش خوب است. در مقایسه با حلقه PPS، حلقه ثابت THE CMP ساخته شده از PEEK مقاومت در برابر سایش و عمر مفید بیشتری دارد، بنابراین زمان خرابی را کاهش می‌دهد و بهره‌وری ویفر را بهبود می‌بخشد.
تولید ویفر فرآیندی پیچیده و سخت است که نیاز به استفاده از وسایل نقلیه برای محافظت، حمل و نگهداری ویفرها، مانند جعبه های انتقال ویفر باز جلو (FOUP) و سبدهای ویفر دارد. حامل های نیمه هادی به فرآیندهای انتقال عمومی و فرآیندهای اسید و باز تقسیم می شوند. تغییرات دما در طی فرآیندهای گرمایش و سرمایش و فرآیندهای تصفیه شیمیایی می تواند باعث تغییر در اندازه حامل های ویفر و در نتیجه خراش یا ترک خوردن براده شود.
از PEEK می توان برای ساخت وسایل نقلیه برای فرآیندهای انتقال عمومی استفاده کرد. PEEK آنتی استاتیک (PEEK ESD) معمولا استفاده می شود. PEEK ESD دارای خواص بسیار عالی از جمله مقاومت در برابر سایش، مقاومت شیمیایی، پایداری ابعادی، خاصیت ضد الکتریسیته ساکن و گاز زدایی کم است که به جلوگیری از آلودگی ذرات و بهبود قابلیت اطمینان جابجایی، ذخیره سازی و انتقال ویفر کمک می کند. ثبات عملکرد جعبه انتقال ویفر باز جلو (FOUP) و سبد گل را بهبود بخشید.
جعبه ماسک جامع
فرآیند لیتوگرافی مورد استفاده برای ماسک گرافیکی باید تمیز نگه داشته شود، هر گونه گرد و غبار یا خراش را به پوشش نور بچسباند تا کیفیت تصویربرداری از بین برود، بنابراین، ماسک، چه در ساخت، پردازش، حمل و نقل، حمل و نقل، فرآیند ذخیره سازی، همه باید از آلودگی ماسک جلوگیری کنند. ضربه ذرات ناشی از برخورد و تمیزی ماسک اصطکاک. از آنجایی که صنعت نیمه‌رسانا شروع به معرفی فناوری سایه‌اندازی نور فرابنفش شدید (EUV) می‌کند، نیاز به عاری از نقص ماسک‌های EUV بیش از همیشه است.
تخلیه PEEK ESD با سختی بالا، ذرات کم، تمیزی بالا، آنتی استاتیک، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر هیدرولیز، استحکام دی الکتریک عالی و مقاومت عالی در برابر ویژگی های عملکرد تشعشع، در فرآیند تولید، انتقال و پردازش ماسک، می تواند ورق ماسک در محیط با گاز زدایی کم و آلودگی یونی کم ذخیره می شود.
تست تراشه
PEEK دارای مقاومت عالی در دمای بالا، پایداری ابعادی، انتشار گاز کم، ریزش ذرات کم، مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی، و ماشین‌کاری آسان است و می‌تواند برای آزمایش تراشه‌ها، از جمله صفحات ماتریس دمای بالا، اسلات‌های آزمایش، بردهای مدار انعطاف‌پذیر، مخازن آزمایشی پیش آتش‌زنی استفاده شود. و اتصال دهنده ها
علاوه بر این، با افزایش آگاهی زیست محیطی از صرفه جویی در انرژی، کاهش انتشار و کاهش آلودگی پلاستیک، صنعت نیمه هادی از تولید سبز حمایت می کند، به ویژه تقاضای بازار تراشه قوی است و تولید تراشه به جعبه های ویفر و سایر قطعات نیاز دارد، تقاضای محیط زیست بسیار زیاد است. تاثیر را نمی توان دست کم گرفت.
بنابراین، صنعت نیمه هادی برای کاهش اتلاف منابع، جعبه های ویفر را تمیز و بازیافت می کند.
PEEK پس از گرم کردن مکرر کمترین افت عملکرد را دارد و 100٪ قابل بازیافت است.
زمان ارسال: 19-10-21